
Електроніка-Кріогенна установка поділу повітря
Цей пристрій розроблено для постачання високо{0}}газоподібного/рідкого кисню, азоту й аргону для виготовлення напівпровідників, виробництва фотоелектричних пристроїв і виробництва електронних хімікатів. Основою його конструкції є стабільний контроль-стану виправлення та здатність видаляти сліди домішок кріогенної повітророзділювальної-електронної установки, гарантуючи, що вихідний газ відповідає суворим пороговим значенням, установленим електронною промисловістю щодо загального вмісту вуглеводнів, CO₂, вологи та інших забруднень.
Основний принцип
Процес відбувається за зворотним циклом Брейтона. Попередньо-очищене повітря глибоко охолоджується приблизно до –170 градусів до –196 градусів, а потім піддається численним етапам очищення в структурованих насадкових колонах, використовуючи різницю-в точках кипіння кисню, азоту й аргону. Завдяки скоординованому контролю високо-точних регулюючих клапанів і нагріву верхнього конденсатора чистота продукту стабілізується на рівнях електронного-класу. Система інтегрує попереднє очищення-адсорбцією молекулярним-ситом, турбо-охолодження-розширювача та ізоляцію-охолоджувальної коробки, що дозволяє кріогенному{13}}повітрозокремлювачу електроніки-працювати зі стійким низьким споживанням енергії протягом тривалих періодів.
Технічні параметри (типовий діапазон конструкції)
| Параметр | Діапазон / Значення |
|---|---|
| O₂ більше або дорівнює 99,6% (електронний клас); N₂ Менше або дорівнює 1 ppm O₂; Ar більше або дорівнює 99,999% | |
| Витрата (Нм³/год) | 500 – 10 000 (доступна модульна комбінація) |
| Температура-холодильника на виході | від –178 градусів до –192 градусів (регулюється для кожного продукту) |
| Питоме споживання енергії (кВт·год/Нм³ O₂) | 0,38 – 0,52 (включаючи втрати компресора та холоду) |
| Холодний{0}}час початку | Менше або дорівнює 6 годинам |
| Години роботи на рік | Більше або дорівнює 8000 |
Витрата і чистота обернено залежні; остаточний підбір базується на складі-повітря, що подається, і вимогах користувача до тиску.
Температурний діапазон і енергоефективність
- Різниця температур на клемах основного теплообмінника: Менше або дорівнює 3 градусам у повному діапазоні навантаження.
- Нижня температура нижньої колонки: від –170 градусів до –175 градусів; верхня температура верхньої колонки: від –192 градусів до –196 градусів.
- Загальне споживання енергії приблизно на 12–18% нижче, ніж у звичайних промислових-установках, головним чином завдяки високо-посиленому турбо{4}}детандеру та зниженому-падінню тиску в колоні. Втрати холоду підтримуються на рівні нижче 5% від загальної холодопродуктивності, що особливо вигідно в регіонах з високими витратами на електроенергію.
Основні компоненти та термін служби
- Головний конденсатор: алюмінієвий сплав 5052 або нержавіюча сталь 304L (стійка до корозії).
- Упаковка: високо{0}}ефективна гофрована структурована упаковка з питомою поверхнею, що перевищує або дорівнює 500 м²/м³.
- Молекулярне сито: клас 13X-APG, розрахований термін служби більше або дорівнює 6 рокам.
Промислове застосування
Підрозділ обслуговує фабрики з виробництва пластин із інтегральними схемами, дисплеї з плоским-дисплеєм, операції по витягуванню фотоелектричних зливків, виробництво заготовок оптичних волокон і спеціальні газові заправні станції, забезпечуючи-виробництво газу або постачання газу по трубопроводах. Він адаптується до коливань тиску-повітря та температури навколишнього середовища, маючи можливість швидкої{4}}зміни навантаження (від 30% до 110%). Виключається залежність від зовнішніх цистерн для транспортування рідин, що знижує ризики забруднення під час логістики.
Система безпеки та контролю
- Інтегрована DCS з окремою системою безпеки (SIS) для постійного моніторингу вуглеводнів і точки роси.
- Вбудований-онлайн-аналізатор ацетилену для рідкого кисню з автоматичною{1}}продувкою та логікою аварійного вимкнення.
- Кільцевий простір-холодильника, заповнений перлітом і захищений азотною оболонкою.
Технічне обслуговування та модульне планування
Головний охолоджувач,-монтований на опорі, розташований окремо від секції попереднього-очищення, щоб скоротити-час монтажу на місці. Усі з’єднання приладів оснащені подвійними блоковими клапанами для полегшення онлайн-калібрування. Інтерфейси віддаленої діагностики передбачені для моніторингу робочих параметрів і попереджень про профілактичне обслуговування.
Вибір і додаткова конфігурація
Визначаючи систему, будь ласка, вкажіть тиск-повітря, типи цільових продуктів і чистоту, а також щоденні профілі навантаження. Якщо потрібен аргон високої-чистоти або азот ультра-високої-чистоти (менше або дорівнює 0,1 ppm O₂), можна включити колону розкислення або додаткову стадію адсорбційного очищення. Бажано зарезервувати місце для майбутнього розширення потужностей.
Shenger Gas спеціалізується на технології кріогенної сепарації. Блок кріогенного поділу повітря-класу електроніки налаштований із стандартизованої бібліотеки проектів, що забезпечує швидке узгодження процесу з -визначеними користувачем вимогами до потоку та чистоти. Для збереження механічної цілісності та теплового балансу застосовано -спеціальну схему трубопроводу холодної коробки-. Технічні відомості щодо споживання енергії, площі та інвестиційних показників доступні після надання умов експлуатації.






Популярні Мітки: блок кріогенного поділу повітря-класу електроніки, виробники блоку кріогенного поділу повітря-класу електроніки, виробники, фабрика в Китаї
Вам також може сподобатися
Послати повідомлення









